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目前怀疑氧化铝不均导致，求指点排查方向

心忧2021-01-21 10:07

捷佳伟创二合一双舟机台，查看历史记录，蝶阀，压力，特气流量均正常，外观存在明显不良，对应位置，颜色发黄

共3回答

我来回答

胡噜娃待采纳

已经确定了，TMA开度异常

发表于：2021-01-22 02:06

胡噜娃待采纳

嘉悦出现后，锁定机台炉管，搞个保养，能换的都换，外围的TMA管道吹扫一遍，好了

发表于：2021-01-21 10:31

张景洋待采纳

捷佳创的普遍得行，清理一下气路就好了

发表于：2021-01-21 10:27

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