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PERC SE-PERC高效电池碱抛前氧化工艺研究

近年来，PERC工艺普加激光SE选择性发射极技术和碱背面抛光技术已然成为新增PERC 产线的标准配置。但激光的高频脉冲会使SE重掺杂区的PSG(磷硅玻璃)层遭到一定程度的破坏，造成后续碱抛工艺中使用的化学药液会腐蚀没有保护的重掺杂区，最终导致电池片效率降低。通过对比两种不同的碱抛前氧化方式在激光光斑宽度、方阻以及电池性能方面的差异，选取更适合产线的前氧化工艺方式，从而实现碱抛和SE两种工艺对电池效率的正向叠加提升。关键词:SF选择性发射:碱抛:前氧化:电池效率

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PERC 激光参数对“SE PERC”单晶硅太阳电池电性能的影响

以添加了选择性发射极(SE)工艺的“SE+PERC”单晶硅太阳电池为研究对象，通过改变 SE激光掺杂处理时的激光功率、激光频率和激光扫描速度这3个参数，研究了不同激光参数对硅片的方阻差值、激光光斑形貌、硅片绒面微观结构，以及“SE+PERC”单晶硅太阳电池电性能等方面的影响。研究结果表明:澛光光斑重叠率随着激光频率的增大而增大，随着激光扫描速度的增大而减小，与激光功率无关，激光功率越大、激光频率越小或激光扫描速度越小，硅片的方阳差值越大，对硅片绒面金字塔结构的损伤越大。因此， “SE+PERC”单品硅太阳电池生产线需结合自身情况，在SE激光掺杂处理时优配合话的激光功率、激光频率和激光扫描速度等激光参数。研究结果对今后“SE+PERC”单晶硅太阳电池生产线选择合适的SE激光参数具有一定的参考价值。

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PERC 钝化接触高效电池核心竞争力

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PERC 常见PECVD镀膜色差片分析

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