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总体来说,单晶和多晶硅锭的生长方法各有所长,单晶的转换效率高,但产能低、能耗大;多晶的转换效率相对较低,但能耗低、产能大,适合于规模化生产
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论述大硅片的机遇和挑战
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文件叙述了半导体硅片金属微观污染机理研究进展
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文件叙述硅片龙头发展加速说明
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文件叙述酸提取原子吸收光谱法测定多晶贵表面金属污染物
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